杭州某光电器件集成块研制厂，晶圆加工制作的过程 中造成含硅、氟的非常规工业废水办理工艺，的设计除理范围1200吨/日。工业废水办理工艺含量更复杂，带有纳米级级硅粒子及盐酸，传统意义除理工艺易于未达标。 生活污水含量及的来源 主要的生态破坏物 ：悬浊液硅（100-500nm颗粒直径）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原加工过程 ：晶圆刻蚀废渣处理工艺（45%）、CMP生物学机诫cnc精密机械加工废渣处理工艺（40%）、设施清洁水（15%） 治理 生产技术流量 多元化用到"化学上的石雕文化沉淀+特种车辆膜溶合"高技术自驾线路： 钙盐发展 ：添加氯化钙避开氟阳离子（自动生成CaF2沉淀物中） 斜管沉淀池不起作用 ：复合型斜板沉淀池剂实行悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜挪用微细科粒 超滤工作会更控制系统 ：脱盐率>98%，回收分类处理率75% 蒸发器晶体 ：浓水段改变氟化物无废气排放量 最中使用效果 氟化物酸度：<8mg/L（高出中国6级标10mg/L） 硅水平：<5mg/L 水物资工业废水处理率：70%用做蒸发塔补水保湿 危废处理回收利用：汽化杂质量较一般鑫霖环保削减60%