某半导手工制造公司企业因晶圆家电清洗多种工序带来含氨工业废水，用水量200吨/天。工业废水里面除高锰酸盐指数外还富含氟化物和进样器血本属，正确处理等级大。本土排放出的标准让高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废液化学成分及收入 晶圆除污污水（主耍因素）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀程序废水处理：含微量分析铜、镍等血本属，pH值振幅大 CMP碾磨废污水：含硅顆粒及氟化物 治疗艺操作流程 主要包括"电化学沉垫+膜分割+折点氯化"搭配组合工艺技术： 预外理 ：添加CaCl2除氟，设定pH在7.5-8. 反渗透装置系统的 ：的还原0.01μm大于粒子物 反渗沉淀 ：将化学需氧量精浓至1000mg/L上文 折点氯化 ：高精度的控制氯加药系统量，将高锰酸盐指数转化率为氦气 阴阳离子变换 ：安全保障高价属合格 结果的效果 氧化还原电位稳定可靠＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属份量大于检则限 水回收率达75% 生活污水带来量减掉40%