某半导体器件集成块制作业厂在晶圆鑫霖环保的过程 中，使用的硅烷确定硅概念植物的生长，废气排放洗涤剂塔导致高有机废气浓度含硅生产废水治理 工艺。生产废水治理 工艺含有pH起伏大（2-11）、硅水平高的特征 ，常用治理 做法易出来硅垢淤塞问題。 电镀废水组分及源于 废水处理工艺关键物质为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂浓度值达1000-1500mg/L 氢硫化钾/氢硫化钠 ：洗滌塔耐酸碱洗滌液留下 颗粒状硅 ：納米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：主料硫氰酸盐带去 解决制作工艺步骤流程 研发应用"有级结合+膜筛选+蒸发器结晶体"的工艺： 一级通过成绩中合 ：用CaO设定pH至4-5，转成硅酸钙积淀，硅删去率60%。 一级与 ：加Na₂CO₃将pH升降至9，进两步沉淀物剩下硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜设计 ：0.02μm工业陶瓷膜过滤系统納米级硅颗粒状，通量稳定的在80LMH。 MVR冷疑器器 ：沉淀高盐污水，晶体出Na₂SO₄加工品的，水中水回用率超90%。 进而结果 总硅从1500mg/L高于5mg/L之下 砷含量从0.8mg/L调至0.01mg/L 机系统无结渣行驶达到2年 一年环保再生资源回收浓盐酸钠结晶约800吨