该厂为85英寸晶圆的生产设备设施的超净水软件,天天行成含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属,但硅含铁高易水垢,且热敏电阻率需以达到18MΩ·cm性能回收。增加了正确处理工学艺不可足够新制定的《电商工业化水被污物废气准则》(GB39731-2020)特点废气卫生防护距离。
废渣成份优势特点
最主要的生态破坏物
:固体硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(颗粒直径0.1-1μm)
独特标准
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
饮用水质功能
:低导电率(<50μS/cm)但硅有机物特征冗杂
除理加工过程标准流程
改革创新采取"梯级膜区分+电去阴离子"整合技术:
微滤预处置
:1μm瓷质膜阻止大粒子硅,通量维系80LMH
正离子对换树脂胶
:D201大孔树脂胶选用性气体吸附硅酸氧分子
特殊RO整体
:独一段收回率60%,2.段采用了高脱硼膜电气元件
EDI电去铁离子
:电压导热系数2A/m²,持续不断删去残留物阴阳离子
UV紫外线灭菌
:254nm太阳光的太阳中的紫外线线使用量40mJ/cm²
技术应用重点
开发管理专门阻硅剂(有机化学胺类混合物),延长膜环境污染生长期3倍
EDI方案改革创新流道设计构思,硅除去率改善至99.8%
在线上硅了解仪(衡量范围内0.1-500μg/L)体现优质管控
加载成效明显
经其次方监测:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼含量的从8μg/L减至0.3μg/L
模式收旧率从原40%改善至68%
膜替换期限提高至5年,年开机运行成本预算缩减35%