该晶圆加工加工厂属于苏北中北部,关键加工8厘米半导体器件晶圆,每日化工废水排放口出量约800吨。在加工工作中利用很大氢佛酸完成晶圆蚀刻,导至化工废水下氟化物氧化还原电位达到200-300mg/L,远超地方排放口出标淮(10mg/L接下来)。
生活污水物质及来源地
污废水 大部分产自6个流程:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、氰化钠及一点天价属
药剂学机械性拋光(CMP)废水处理
:含纳米技术级硅颗粒状、生物碳络合剂
设施难以清理污废水
:含异丙醇、挥发酚等有机肥料物
正确处理工艺技术环节
利用"物理化学积淀+混疑积淀+深层吸附"四级工作设备:
四级处置
:加药氯化钙和氢氧化的钙,进行氟化钙积淀,氟化物删去率达85%
中级进行处理
:修改PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除橡胶胶体部分态破坏物
三级视频操作
:实现多导电介质过滤清洁器和可溶性炭离心分离,满水后氟化物氧浓度可靠在8mg/L如下
关键点机也包括:pH半自动调整装置、斜管水解池、板框板框压滤机(厌氧颗粒污泥脱水烘干)。
最终能够效用
好项目程序运行三年期监测大数据大数据表现:
氟化物平衡密度:7.2mg/L(高出国家的标淮)
COD除掉率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年收购 氟化钙副產品约150吨,控制资原化借助